इंडक्शनसह mocvd अणुभट्टी गरम करणे
इंडक्शन हीटिंग मेटलॉर्गेनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (MOCVD) अणुभट्ट्या हे एक तंत्रज्ञान आहे ज्याचा उद्देश हीटिंग कार्यक्षमता सुधारणे आणि गॅस इनलेटसह हानिकारक चुंबकीय जोडणी कमी करणे आहे. पारंपारिक इंडक्शन-हीटिंग MOCVD अणुभट्ट्यांमध्ये अनेकदा चेंबरच्या बाहेर इंडक्शन कॉइल असते, ज्यामुळे कमी कार्यक्षम हीटिंग आणि गॅस वितरण प्रणालीमध्ये संभाव्य चुंबकीय हस्तक्षेप होऊ शकतो. अलीकडील … अधिक वाचा